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熱式質量流量計利用傳熱原理檢測流量的儀表，即利用流動中的流體與熱源之間熱量交換關系來測量流量的儀表。 ……
本文關鍵字：熱式質量流量計
熱式質量流量計利用傳熱原理檢測流量的儀表，即利用流動中的流體與熱源之間熱量交換關系來測量流量的儀表。
熱式質量流量計基本原理：通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為加熱器，另一個作為溫度檢測。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
熱式質量流量計可以使用在氣體色譜儀和氣體分析儀等分析儀器上，用于監控取樣氣體量。其使用口徑和流量均較小，較多應用于半導工業外延擴散、石油化工微型反應裝置、鍍膜工藝、光導纖維制造、熱處理淬火爐等多種場所的氫、氧、氨、燃氣等氣體流量控制，以及固體致冷中固體氬蒸發等累積量和閥門制造中泄漏量的測量等。
以上簡單為大家介紹了熱式質量流量計的工作原理以及所使用的環境。希望小編所介紹的知識點能夠幫助大家了解這個儀表，若有其他想法可以聯系我們。
